公司中标高端集成电路装备研发及产业化项目

2019年11月12日，中大公司中标高端集成电路装备研发及产业化项目，中标金额2.69亿。该项目位于北京经济技术开发区，建设规模4.7万平方米。

项目将建造集成电路装备创新中心楼，建设28纳米以下集成电路装备工艺验证及产业化条件，搭建5/7纳米先进工艺设备测试验证平台，进行先进半导体工艺装备研发及产业化，提升我国集成电路市场的自给率。项目建设完成后，将具备年产刻蚀机、PVD、退火炉、立式炉、清洗机等设备150台以上的能力。